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Description
Introduction
L’échantillon de test KPFM & EFM a été spécialement conçu pour tester les performances de la microscopie à force à sonde Kelvin et de la microscopie à force électrostatique. Cet échantillon de test pratique est
constitué de réseaux avec des lignes alternées d’aluminium et d’or déposées sur un substrat de silicium recouvert d’oxyde de silicium. Il existe 4 emplacements de line array : 4, 8, 20 et 40 um avec des espaces de 0,5 à 0,8 um entre les lignes. La hauteur de la ligne est d’env. 35 milles marins.
Caractéristiques de l’échantillon de test KPFM & EFM :
- Réseaux avec des lignes Al et Au alternées
- Emplacements de réseau de lignes de 4, 8, 20 et 40 um avec un écart de 0,5 à 08 um.
- La hauteur de la ligne est d’env. 35 nm
- La pile est constituée d’une puce de silicium sur un disque en verre de Ø12 mm sur un disque métallique de Ø15 mm d’une hauteur totale de 1,5 mm
- Fils de cuivre fins connectés aux plots Al et Au
Spécifications de l’échantillon de test KPFM & EFM
| Numéro de produit |
34-033040 |
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| Hauteur de la ligne |
35 nm |
|||
| Largeur de l’espace |
0,5 – 0,8 um |
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| Largeur de ligne | Groupe | Pas | Aluminium | Or |
| Grand | 40 un | 10 ± 0,5 um | 29 ± 0,5 um | |
| Moyen | 20 un | 5 ± 0,5 um | 14 ± 0,5 um | |
| Petit | 10 un | 2 ± 0,5 um | 6 ± 0,5 um | |
| Super petit | 4 un | 1 ± 0,5 um | 2 ± 0,5 um | |
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