Description
Norme d’étalonnage en damier EM-Tec pour l’imagerie SEM,
étalonnage rapide et facile du grossissement de l’image complète
Norme d’étalonnage en damier EM-Tec pour l’imagerie SEM
L’étalon d’étalonnage EM-Tec Checkerboard a été développé pour un grossissement et un étalonnage d’image rapides et faciles des SEM et des SEM compacts. Il se compose de plus de 1,6 million de car
rés qui forment 4 étapes de motifs en damier. Le plus petit damier mesure 10 x 10 um. Ces plus petits damiers forment alors un motif de 100 x 100 um et ceux-ci forment à nouveau des damiers de 1 x 1 mm. Les damiers de 1 x 1 mm forment alors un motif de 5 x 5 mm.
Les plus petits carrés de 1 x 1 um sont constitués de chrome de 20 nm d’épaisseur et de 40 nm d’or sur le Cr, déposés sur un substrat de silicium conducteur ultra-plat dopé au bore <100>. Ces matériaux sont réputés inertes dans des conditions normales de travail. Le contraste de l’imagerie est bon pour l’imagerie SE et BSE, en particulier à un keV inférieur. L’échantillon d’étalonnage EM-Tec Checkerboard convient à l’étalonnage de grossissement SEM dans la plage de 20x à 50 000x avec une précision de pas de ± 0,1 % dans les directions X et Y. Également utile pour vérifier les distorsions d’image et la précision des platines SEM (motorisées).
L’étalon d’étalonnage EM-Tec Checkerboard est traçable NIST. Exemple de certificat de traçabilité au niveau de la tranche fourni avec chaque étalon d’étalonnage EM-Tec Checkerboard.
Caractéristiques de l’étalon d’étalonnage EM-Tec Checkerboard
- Calibrage du grossissement et vérification de l’image rapides et faciles
- Tailles des caractéristiques : 1 mm, 100 um, 10 um et 1 um
- Précision du pas ± 0,1 % dans les directions X et Y
- Idéal pour SEM et SEM compact
- Excellent contraste avec SE et BSE, également à KeV inférieur
- Traçable NIST
- Grand damier 5 x 5 mm
- La taille de la matrice est de 6 x 6 mm avec une épaisseur de 675 um
- Substrat en silicium <100> dopé B avec une résistivité de 5 à 10 ohm-cm
- Motif réalisé avec de l’or 40 nm sur du chrome de 20 nm d’épaisseur
- Construction longue durée avec des matériaux pratiquement inertes
L’étalon d’étalonnage EM-Tec EDX-Checkerboard est disponible démonté et monté sur les stubs SEM populaires.
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Commande de l’étalon d’étalonnage EM-Tec EDX-Checkerboard
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